Fabrication de semi-conducteurs

Des systèmes offrant une précision exceptionnelle pour la mesure des paramètres de procédé

Nos domaines d'application clés sont les suivants :

Les fours à diffusion
Les machines MBE
La croissance cristaline
Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
L'épitaxie par jets moléculaires (MBE)
La surveillance de l'environnement

Nos systèmes offrent une précision exceptionnelle pour la mesure des paramètres ainsi qu'une très grande stabilité de régulation, indispensables à ce type de procédés qui exigent notamment une excellente répétabilité.

La capacité intégrée de transfert à distance des valeurs du procédé aux systèmes informatiques de gestion permet également de mieux contrôler les données et d'améliorer ainsi le rendement et la qualité des produits.